当社のノズル精度【ノズルを制する者がスリットコーターを制する】
超精密加工ノウハウの蓄積技術により他に類を見ない脅威的な均一性ノズルを提供します
製品情報PRODUCT INFORMATION
KDT独自の技術により円形などの形状に倣って液がウェハーのみに塗布し且膜厚測定機を搭載して、均一に塗布する画期的な多機能スリットコーターを開発しています。
設計から製造までを行う塗布装置専門メーカーならではの技術を幅広いジャンルの製造工程にご提供致します。
ベースになるテクノロジー
金属箔などにコーティングする技術を基に、LCD用ダイコーターの技術を活用した製造ノウハウを確立しました。
これまでの経験を活かした業ありの塗布装置造りを提供致します。
高粘度対応スリットコーター、スプレーコーター、その他、お客様のニーズに合わせた最適な提案で幅広いジャンルでコーターの受託サービスも行っております。
特許技術を搭載した薄板への画期的な搬送形態、アイデアノズルによる塗布技術
超精密加工ノウハウの蓄積技術により他に類を見ない脅威的な均一性ノズルを提供します
Capillary coaterは従来のスリットコーターが四角形のガラス基板のみに塗布する事に対して、シリコンウェハーにも、薬液の無駄がなくワークのみに塗布できる画期的なコーターです。
こんな材料、スリットで塗布出来るのか?先ずはご相談ください!
1.難しい操作なしで簡単に塗布が行える
2.塗布剤の適応の条件確認等が瞬時にできる
3.そのための最小数のパラメーター機構(標準)
オプションにて生産機を前提とした構想もお請けいたします
4.塗布幅、塗布剤のご相談にもご対応致します
5.ノズル、ワークステージに加熱機構
1.超低粘度(1cp以下)の塗布剤でも可能
2.最小吐出量1000/1ml/s
3.実績値30nm sickness W500mm
4.貧溶媒同時吐出塗布構想中(同一ノズルで)
5.大型パネルMax500mm□まで対応、
6.装置本体防爆仕様の取り込み(一部安増)
7.薄板t=0,1mm(glass、Film)対応
8.ワーク搬送、インラインのご提案お受けいたします